电子显微镜为10～2万倍。观察模式有高真空和低真空模式2种，加速电压可进行15kV、10kV、5kV三级切换。

　　开始观察时，排气等所需要的启动时间为3分钟。试样载物台可承载最大直径70mm×高50mm的试样，载物台的可动范围为X方向、Y方向各35mm。除焦点、对比度、亮度调节外，还可进行尺寸测量等操作。

　　电子显微镜机体定价为530万日元。上市第一年度的销售目标为300台。